超精密加工是实现纳米加工的最有效方法。
其中，压电快速工具伺服系统是超精密加工的核心设备。
快速工具定位台驱动车削工具或其他工具的微纳米级进给，以加工工件的表面。
另外，它还可以加工各种旋转表面，例如内圆柱表面，内外圆锥表面，螺纹，凹槽，端面和成型表面。
FTS20系列快速刀具定位台是专门为超精密车削设计的快速刀具微进给平台。
它采用直接驱动结构，具有大承载能力和高频率。
它还使用具有纳米级定位精度的电容式闭环传感器。
特点：•行程范围18μm•在全行程下使用频率高达95Hz•负载能力300g高刚度快速工具定位台采用高输出压电陶瓷，而台体材料由不锈钢制成，以确保加工过程中的稳定性，结构稳定和可靠，加工精度不会受到抖动的影响。
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